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氮化硅可以在很高的温度下，做退火的处理的，之后就可以转成晶态粉末，目前二胺分解法在重要性方面是仅次于渗氮法的商品化生产氮化硅的方法。碳热还原反应是制造氮化硅的最简单途径也是工业上制造氮化硅粉末最符合成本效益的手段。电子级的氮化硅薄膜是通过化学气相沉积或者等离子体增强化学气相沉积技术制造的；如果要在半导体基材上沉积氮化硅，有两种方法可供使用：氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同，生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。
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来源：安阳鹏大金属材料有限公司
发布时间：1970-01-01
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