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氮化硅粉的晶胞参数和单质硅不一样的，所以可以根据沉积的方法的不同，就可以生成氮化硅薄膜，也会产生相应的张力还有应力了，尤其是针对等离子体，可以增强化学气相沉积技术时，能通过调节沉积参数来减少张力。先利用溶胶凝胶法制备出二氧化硅，然后同时利用碳热还原法和氮化对其中包含特细碳粒子的硅胶进行处理后得到氮化硅纳米线。硅胶中的特细碳粒子是由葡萄糖在1200-1350°C分解产生的。以上是我们为你介绍的相关的内容。
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来源：安阳鹏大金属材料有限公司
发布时间：1970-01-01
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